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자료유형 : 단행본
서명 / 저자 : 반도체공정개론 / Richard C. Jaeger 저 ; 이상렬 ; 명재민 ; 윤일구 共譯
원서명 : Introduction to microelectronic fabrication
개인저자 : Jaeger, Richard C. | 이상렬 |
발행사항 : 파주 : 교보문고, 2005
형태사항 : 351 p. : 삽도 ; 24cm.
일반사항 : 원서의 2판을 번역
서지주기 : 참고문헌과 색인수록
ISBN : 9788970854915
청구기호 : TK7874 J34ㅂ
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소장자료

부가정보

제1장 미소전자 제조 공정 ...15

제2장 리소그래피 ...31

제3장 실리콘 산화막 ...57

제4장 확산 ...85

제5장 이온 주입법 ...131

제6장 박막 증착 ...155

제7장 상호접속과 접촉 ...181

제8장 패키징 및 수율 ...209

제9장 MOS 공정 집적화 ...235

제10장 양극 공정 집적화 ...273

제11장 MEMS 공정 ...313

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